플라즈마 응용 시스템
표면 세정 처리용 대기압(AP: Atmospheric Pressure) 플라즈마 시스템
평판 디스플레이(FPD: Flat-Panel Display) 표면 세정
Plasma Jet(Remote Plasma) + Wet(Steam)
Plasma gas 변경 가능. (Wet chemical 사용 가능)
Plasma Slit 확장 용이
유기 / 무기 오염물 세정 (동시 세정)
직선형 반응기 : 380mm 2slit
작동중의 모습
Aluminum Plate
Cupper Plate
SUS Plate
Epoxy Glass
LCD Glass
ITO Glass
PR Glass
PET Film
BGA
반도체 공정 Wafer 표면 세정 용도
표면 개질: 분말처리 & 필터 표면처리
앞 면
뒷 면
